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飞秒与皮秒加工,面向电子、医疗与半导体领域。
分束、多面转镜扫描与更高重复频率,正是把飞秒精度转化为量产产能的三个杠杆。
飞秒脉冲在热扩散之前就去除了材料。但以高重复频率反复施加,热量依然会累积——这正是产能的瓶颈。
玻璃内部的自聚焦形成一条贯穿全厚度的改性柱。玻璃随后沿其分离,边缘强度是机械划线从未达到的。
每个导孔都必须干净地停在几微米外的铜焊盘上。产能取决于工艺找到这个停止点的可靠性,而非钻孔速度。
旋转多面镜的扫描速度是振镜无法企及的,这把平均功率从「热量问题」重新变回了「产能」。
用几个紧密相邻的脉冲替代单个更大脉冲,能以单脉冲模型无法预测的方式改善去除效率与表面质量。
亚波长尺度的自组织波纹能改变润湿性、摩擦与附着力。障碍从来不是物理原理,而是覆盖面积的速度。
在晶圆内部做改性不浪费宽度、不产生碎屑,但它要求基材的行为完全符合模型。
基于光纤的密封架构,免除了把飞秒激光困在实验室里的对光、吹扫与环境控制。
支架筋宽与套管特征以微米计。跨批次守住这个公差,更多取决于工装、热稳定性与计量,而非脉冲参数。
只有在强度高到两个光子同时到达的地方才会发生聚合,这把固化限制在远小于焦斑的体积内。
毫秒脉冲冲击钻孔快,但留下损伤层;超快钻孔慢,但不留——这对疲劳寿命至关重要。
